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方案概述

單晶爐是一種在惰性氣體(氮?dú)?、氦氣為?環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長(zhǎng)無(wú)錯(cuò)位單晶的設(shè)備

禾川方案

方案特色

  • 視覺定位

    視覺定位,進(jìn)行檢測(cè)偏差,補(bǔ)償給控制系統(tǒng)
  • 高重合精度

    高精度,高響應(yīng)定位,控制伺服驅(qū)動(dòng)
  • 高像素相機(jī)

    視覺實(shí)時(shí)測(cè)量晶棒生長(zhǎng)尺寸
  • 高速處理數(shù)據(jù)

    高速PLC 承載著整個(gè)系統(tǒng)的運(yùn)算及執(zhí)行
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