方案概述
管式PECVD上下料機是將硅片從承載盒中自動裝載至PECVD石墨舟或從PECVD石墨舟中自動裝載硅片至硅片承載盒中
禾川方案
方案特色
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碎片率降低
重復(fù)精度定位精準，與傳統(tǒng)裝卸片相比，大幅度降低碎片率
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高重合精度
高速以太網(wǎng) 高響應(yīng)定位，動作過程中與硅片接觸搬運過程中均輕柔動作，以減少碎片
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